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薄膜沉积控制仪在操作的时候要做好保养的工作

更新时间：2023-06-30 点击次数：896

　　薄膜沉积控制仪在操作的时候要做好保养的工作，这样才能更好地使用。

　　1、所有电机都应该保持表面清洁，无粉尘，达到良好的散热效果。

　　2、定期加注润滑油到轴承内，提高电机的使用寿命，减少其故障。

　　3、可定期检查接线端子是否受热胀冷缩及震动影响产生松动，发现异常及时处理。

　　薄膜沉积控制仪加热部分保养与维护

　　1、在使用过程中经受热胀冷缩的影响，可能会导致加热圈发生松动，设备检修时，也需进行检查加热圈的松紧度是否适当。

　　2、当温度发生不准确时，检查热电偶是否正常。

　　3、加热圈，加热棒，固态，热电偶等，都是易损件，需常有备件。

　　做好薄膜沉积控制仪的维护能够延长使用寿命。

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