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如何对薄膜沉积控制仪做标准化的日常维护

更新时间：2023-06-30 点击次数：4271

如何对薄膜沉积控制仪做标准化的日常维护？

薄膜沉积控制仪安装时注意保持水平位置，对薄膜沉积控制仪与地基的结合面和出风管的联接等，应调整使之自然吻合不得有强行联接，不允许将管道重量加在薄膜沉积控制仪的部件上。

薄膜沉积控制仪时应对各部件进行全面检查，机件是否完整，各部件联接是否紧固。薄膜沉积控制仪在运转时如发现有剧烈的振动撞击等反常现象必须立即停车检查。薄膜沉积控制仪在露天使用应有防雨措施。按期清除薄膜沉积控制仪内部积灰、污垢等杂质，并防止锈蚀。

以上内容就是薄膜沉积控制仪在日常维护中标准化的流程，希望大家可以了解更多。

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